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①SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察■样品台可搭载超大/超重样品通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率具备样品台移动限制解除功
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专门为电子束敏感样品和需极大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。0.4nm/30kV(SE)1.2nm/1kV(SE)0.34nm/30