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◆聚焦离子束(FIB)微采样装置和聚焦离子束(FIB)微采样方法◆聚焦离子束(FIB)微柱状制样实例一个微柱状样品,包含一个直接从半导体器件上准确地切割下来的分析点。改变入射聚焦离子束(FIB)的方向,把微样品切割或