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超高分辨成像日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像。0.8kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像，颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤
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超高分辨观察和超强分析能力日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用0.1kV的低加速电压仍可进行高分辨观察，适应更多应用场景。同时，可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更
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FlexSEM1000II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20kV下实现4.0nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM
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①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察■样品台可搭载超大/超重样品通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率具备样品台移动限制解除功
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专门为电子束敏感样品和需极大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。0.4nm/30kV(SE)1.2nm/1kV(SE)0.34nm/30
