◆ 1. 环境控制功能(大气,真空,液体,温控等)
AFM5300E能够实现高真空的测试环境,极大大限度减小样品表面吸附水对测试的影响,实现准确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。
(zhuanli3857581号、zhuanli3926638号)
●大气中 ●液体中 ●真空中 ●特殊气氛(流量控制)
●温度控制 加热・冷却(-120~300℃) 高温(室温~800℃)
●湿度控制(0~80%)
◆ 2. 简便操作(综合型Holder Flange)
通过采用『综合型Holder Flange开合功能』,样品和扫描器更換更为方便的同时,免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。
◆ 3. 卓越的高性能
采用了『Swing Cancel功能』,减轻了样品的浮动,降低了漂移。提高了纳米分析性能,提升了可信度。
◆ 4. 通过减轻表面吸附水的影响,提高了电气性能的检测精度
真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响,因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。