◆ 高分辨率扫描透射电子显微镜成像
HAADF-STEM图像0.136 nm，FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)
HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)
明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)
◆ 高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍
元素面分布更迅速及时
低浓度元素检测
◆ 操作简化
自动图像对中功能
◆ 从样品制备到观察分析实现无缝连接
样品杆与日立聚焦离子束系统兼容
◆ 配有各种选购件可执行各种评估和分析操作
同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。
低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至低)
高精度放大校准和测量*
实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*，具有自动倾斜图像获取功能。
ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)
