日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用0.1 kV的低加速电压仍可进行高分辨观察，适应更多应用场景。同时，可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更多的观测需求。
EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。
6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集，带来更多信息。
单次扫描支持 40,960×30,720 的超高像素*
左图是视野约为120 μm，单次扫描采集的大鼠超薄切片样品高像素图像。将黄色矩形区域图像进行简单的数字放大，得到右图。右图相当于左图数字放大20倍,依然可以清晰确认到神经细胞的细胞器等的内部构造
SU8600和SU8700单次扫描像素可达 40,960 x 30,720.*
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