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CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)

CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)

  • 所属分类：聚焦离子束系统
  • 浏览次数：次
  • 发布日期：2021-08-18 11:18:57
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该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置，样品台就会通过链接移动到相应位置，就可以获得相应位置的SIM图像。同时，CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此，很容易检查到下层布线的状态，实质上提高了分析的效率，有利于进一步进行修理工作。
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该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置，样品台就会通过链接移动到相应位置，就可以获得相应位置的SIM图像。同时，CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此，很容易检查到下层布线的状态，实质上提高了分析的效率，有利于进一步进行修理工作。

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