◆ 高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
◆ 性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
开仓室快速简单换样(样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*：选配附件
*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）
*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）
*3：空压机(本地采购)
样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像
样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像
