日立扫描电子显微镜原理
日立扫描电子显微镜的作业原理主要是使用二次电子成像，日立扫描电子显微镜作业原理是这样的：从电子枪灯丝宣布的直径约20～35μm的电子束，遭到阳极1～40kV高压的加速射向镜筒，并遭到*、二聚光镜和物镜的会聚效果，缩小成直径约几十埃的狭窄电子束射到样品上。
与此一起，偏转线圈使电子束在样品上作光栅状的扫描。电子束与样品相互效果将发生多种信号，其间zui重要的是二次电子。因为操控镜筒入射电子束的扫描线圈的电路一起也操控显像管的电子束在屏上的扫描。日立扫描电子显微镜用这种方法就如电视机屏上的像一样，一点一点，一线一线地组成了像。
