日立扫描电镜被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、资料、半导体制作、微电路查看等各个研究范畴和工业部门。制样简单、放大倍数可调范围宽、图画的分辨率高、景深大、保真度高、有实在的三维效应等，关于导电资料，可直接放入样品室进行剖析，关于导电性差或绝缘的样品则需求喷镀导电层。
电子光学系统包含电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等，主要用于发生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需求电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜*。通常会安装两组：会聚透镜和物镜，会聚透镜仅仅用于会聚电子束，与成象会焦无关；物镜负责将电子束的焦点会聚到样品外表。扫描线圈的效果是使电子束偏转，并在样品外表作有规矩的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作坚持严格同步，由于它们是由同一扫描发生器控制的。
扫描电子显微镜是利用资料外表微区的特征（如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等）的差异，在电子束效果下通过试样不同区域发生不同的亮度差异，从而获得具有必定衬度的图画。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子，其中二次电子是zui主要的成像信号。其成像原理图，高能电子束炮击样品外表，激发出样品外表的各种物理信号，再利用不同的信号探测器承受物理信号转换成图画信息。
