电子显微镜由镜筒、真空设备和电源柜三部分组成。
1、镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件，这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。
2、真空设备用以保障显微镜内的真空状况，这样电子在其路径上不会被吸收或倾向，由机械真空泵、分散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接。
3，电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调理操控单元组成。
电子显微镜是依据电子光学原理，用电子束和电子透镜替代光束和光学透镜，使物质的纤细结构在十分高的放大倍数下成像的仪器。电子显微镜的分辩能力以它所能分辩的相邻两点的很小间距来表示。20世纪70年代，透射式电子显微镜的分辩率约为0
