日立扫描电子显微镜是利用精细聚焦的电子束照射在样品表面，电子束与日立扫描电子显微镜样品相互作用产生各种信号，其中包括二次电子、背散射电子、特征X射线等不同能量的光子，这些信号经相应的探测器接收，用于研究各种材料的微观形貌;配上能谱仪、波谱仪等附件，可对材料元素成分进行分析。
日立扫描电镜的附件常见的是X射线能谱仪，在各种材料的分析中起着不可或缺的作用。
日立扫描电镜结合能谱仪使用，能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是:各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量E，能能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
能谱定量分析的准确性与样品的制样过程，样品的导电性，元素的含量以及元素的原子序数有关。因此，在定量分析的过程中既有一些日立扫描电子显微镜原理上的误差（数据库及标准)，我们无法消除，也有一些人为因素产生的误差(操作方法)，这些因素都会导致能谱定量不准确。
那么，扫描电镜除了可以利用能谱分析能够根据衬度变化判断元素在不同位置的富集程度，还能判断微量元素的分布。这里我还要交给大家一个小技巧：能谱使用前要校准，要使样品平整，分析区域均质、无污染，还要让样品导电性、导热性良好。
